4、光刻機(jī)
（1）市場銷量
全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)復(fù)蘇,受益于下游晶圓巨大需求、服務(wù)器云計(jì)算和5G基礎(chǔ)建設(shè)的發(fā)展,帶動(dòng)相關(guān)芯片的需求,2020年光刻機(jī)銷售額與銷量增速穩(wěn)定提升。2021年全球集成電路、面板、LED用光刻機(jī)出貨約650臺(tái)，較2020年增加70臺(tái)。其中集成電路制造用光刻機(jī)出貨約500臺(tái)；面板、LED用光刻機(jī)出貨約150臺(tái)。2021年全球光刻機(jī)銷量為450臺(tái)，隨著下游市場需求持續(xù)升高，預(yù)計(jì)2023全球市場仍將持續(xù)增長，銷量將達(dá)542臺(tái)。
數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
（2）重點(diǎn)企業(yè)
光刻機(jī)市場競爭格局明確，主要由阿斯麥、日本尼康和佳能三家把持，其中阿斯麥更是全球絕對龍頭，市占率83.3%，幾乎壟斷了高端光刻機(jī)（EUV）市場。中國光刻機(jī)企業(yè)主要有上海微電子裝備有限公司、北京華卓精科科技股份有限公司、北京科益虹源光電技術(shù)有限公司、長春國科精密光學(xué)技術(shù)有限公司、北京國望光學(xué)科技有限公司、浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司、東方晶源微電子科技公司。
資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
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